真空腔体常用的清洗方法
1、超声波清洗
超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用,不锈钢真空腔体加工生产厂家,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的.
2、电解侵蚀清洗
电解侵蚀清洗类似于电解抛光,是指在溶剂中利用电解作用,清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物,主要用于化学稳定性较高的合金部件,如不锈钢,耐热钢等.
3、蒸汽脱脂清洗
蒸气脱脂指被粘物表面用餐剂的蒸气不断清洗以达到脱脂的目的,适用于表面类脂膜和油脂膜的清洗,操作方法简单,半导体真空腔体加工生产厂家,可以实现大批量清洗.一些带有牢固附着物或污染较为严重的基片在擦洗或超声波清洗后,用蒸汽脱脂清洗可以实现很好的清洗效果.
检测漏率问题
用户头疼的是检测漏率问题。漏分内漏和外漏;外漏比较好检测,内漏则难办些。较大的漏点可以用火焰法,利用气流能使火焰偏离的原理,先抽上真空,用蜡烛或打火机在点附近逐步查寻,会发现火苗向漏点偏移,则可找到漏点。我们用自制的检漏仪可以在旋片泵工作范围内进行检漏,真空腔体加工生产厂家,现在已经生产ZHC.1型仪表。该检漏仪表用ZJ.2电离规管,规管接在旋片泵吸气口来检测。若是扩散泵机组的话,可以检测到l0P的漏率。
真空腔体常用的清洗方法
1、放电清洗
放电清洗一般用于高真空、**高真空腔体清洗中.放电清洗的效果取决于电机材料、几何形状及其与表面的关系.利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除.
2、氮气清洗
氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短,容易被抽走的特性,用氮气冲洗被污染的真空系统,同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间,缩短真空系统的抽气时间.